УДК 621.38(075)
ББК 32.85я73
Ю20
Электронный учебно-методический комплекс по дисциплине «Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники» подготовлен в рамках реализации Программы развития федерального государственного образовательного учреждения высшего профессионального образования «Сибирский федеральный университет»
(СФУ) на 2007–2010 гг.
Рецензенты:
Красноярский краевой фонд науки;
Экспертная комиссия СФУ по подготовке учебно-методических комплексов дисциплин
Разработка и оформление электронного образовательного ресурса: Центр технологий электронного обучения Информационно-телекоммуникационного комплекса СФУ; лаборатория
по разработке мультимедийных электронных образовательных ресурсов при КрЦНИТ
Содержимое ресурса охраняется законом об авторском праве. Несанкционированное копирование и использование данного продукта запрещается. Встречающиеся названия программного обеспечения, изделий, устройств или систем могут являться зарегистрированными товарными знаками тех или иных фирм.
Подп. к использованию 30.11.2009
Объем 4 Мб
Красноярск: СФУ, 660041, Красноярск, пр. Свободный, 79
Оглавление
Введение ..................................................................... 6
1. Лабораторная работа № 1. ................................. 10
ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ФОРМИРОВАНИЯ
ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ НИЗКОРАЗМЕРНОЙ
СРЕДЫ ДЛЯ СОЗДАНИЯ УСТРОЙСТВ
НАНОЭЛЕКТРОНИКИ................................................ 10
1.1. Цель работы .......................................................................................... 10
1.2. Задачи лабораторной работы ............................................................ 10
1.3. Теоретические сведения ..................................................................... 11
1.3.1. Актуальность использования низкоразмерного кремния в
производстве изделий микро- и наноэлектроники ........................................... 11
1.3.2. Физические принципы создания низкоразмерного кремния ................ 14
1.3.3. Вольтамперные характеристики при формировании низкоразмерного
кремния ..................................................................................................................... 18
1.3.4. Структурные модификации пористого кремния ...................................... 20
1.3.5. Электрохимические реакции в системе «кремний – электролит»......... 23
1.3.6. Электрохимические ячейки для формирования низкоразмерного
кремния ..................................................................................................................... 24
1.3.7. Электролиты для процесса анодирования кремния............................... 26
1.4. Описание технологического и измерительного оборудования .. 27
1.5. Задание на выполнение лабораторной работы ............................ 29
1.6. Порядок выполнения лабораторной работы ................................. 30
1.6.1. Изучение физической сущности получения пористого кремния .......... 30
1.6.2. Подготовка образцов кремния .................................................................... 31
1.6.3. Приготовление электролита для процесса анодирования .................... 31
1.6.4. Подготовка электрохимической ячейки и ее подключение ................... 32
1.6.5. Анодирование кремниевого
Последние комментарии
3 часов 41 минут назад
4 часов 35 минут назад
4 часов 38 минут назад
15 часов 30 минут назад
15 часов 32 минут назад
1 день 4 часов назад